12英寸晶圆
|
外形尺寸
|
Φ300±0.1mm
|
厚度
|
0.3mm、0.5mm、0.7mm
|
厚度公差
|
±0.005mm
|
材料
|
D263T、BF33、N-BK7、JGS1等各种类型的玻璃材料
|
TTV
|
<1.5um
|
warp
|
≤30um
|
BOW
|
≤20um
|
标记
|
缺口标记(SEMI)、激光刻字
|
侧边边缘
|
抛光
|
Ra
|
Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
|
表面
|
20-10(MIL-PRF-13830B)
|
8英寸晶圆
|
外形尺寸
|
Φ200±0.1mm
|
厚度
|
0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm
|
厚度公差
|
±0.005mm
|
材料
|
D263T、BF33、N-BK7、JGS1等各种类型的玻璃材料
|
TTV
|
<0.8um
|
warp
|
≤30um
|
BOW
|
≤20um
|
标记
|
缺口标记(SEMI)、激光刻字
|
侧边边缘
|
抛光
|
Ra
|
Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
|
表面
|
20-10(MIL-PRF-13830B)
|
6英寸晶圆
|
外形尺寸
|
Φ150±0.1mm
|
厚度频率
|
0.15mm、0.20mm、0.25mm、0.325mm、0.5mm
|
厚度公差
|
±0.005mm
|
材料
|
N-SF6、H-K509、H-ZF3、JGS1等
|
TTV
|
<0.5um
|
LTV
|
<0.5um(每60x60mm区域)
|
warp
|
≤20um
|
BOW
|
≤15um
|
标记
|
缺口标记(SEMI)、激光刻字
|
侧边边缘
|
抛光
|
Ra
|
Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
|
表面
|
20-10(MIL-PRF-13830B)
|
|