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12英寸晶圆
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外形尺寸
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Φ300±0.1mm
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厚度
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0.3mm、0.5mm、0.7mm
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厚度公差
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±0.005mm
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材料
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D263T、BF33、N-BK7、JGS1等各种类型的玻璃材料
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TTV
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＜1.5um
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warp
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≤30um
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BOW
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≤20um
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标记
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缺口标记（SEMI）、激光刻字
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侧边边缘
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抛光
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Ra
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Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
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表面
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20-10（MIL-PRF-13830B）
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8英寸晶圆
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外形尺寸
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Φ200±0.1mm
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厚度
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0.2mm、0.25mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm、0.7mm
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厚度公差
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±0.005mm
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材料
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D263T、BF33、N-BK7、JGS1等各种类型的玻璃材料
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TTV
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＜0.8um
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warp
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≤30um
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BOW
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≤20um
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标记
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缺口标记（SEMI）、激光刻字
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侧边边缘
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抛光
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Ra
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Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
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表面
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20-10（MIL-PRF-13830B）
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6英寸晶圆
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外形尺寸
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Φ150±0.1mm
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厚度频率
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0.15mm、0.20mm、0.25mm、0.325mm、0.5mm
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厚度公差
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±0.005mm
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材料
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N-SF6、H-K509、H-ZF3、JGS1等
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TTV
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＜0.5um
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LTV
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＜0.5um（每60x60mm区域）
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warp
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≤20um
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BOW
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≤15um
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标记
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缺口标记（SEMI）、激光刻字
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侧边边缘
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抛光
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Ra
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Roughness (RMS value by AFM)≤0.1 nm
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表面
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20-10（MIL-PRF-13830B）
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